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簡要分析勻膠機(jī)旋涂儀在使用時(shí)的注意事項(xiàng)

更新日期:2022-09-06       點(diǎn)擊次數(shù):1812
  勻膠機(jī)旋涂儀操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案??捎糜趯?shí)驗(yàn)室項(xiàng)目建設(shè),除半導(dǎo)體外,還可用于硅片、芯片、基板、導(dǎo)電玻璃和制版等表面涂層工藝,用于科研和教學(xué)。
 
  勻膠機(jī)旋涂儀使用時(shí)的注意事項(xiàng):
 
  1、使用前,主要檢查設(shè)備與真空泵、氮?dú)馄拷涌谑欠裥孤?br /> 
  2、實(shí)驗(yàn)過程中,依次打開設(shè)備電源開關(guān)、氮?dú)?干氣瓶閥門和真空開關(guān)。實(shí)驗(yàn)結(jié)束時(shí),先關(guān)閉真空,然后關(guān)閉氮?dú)?干氣瓶的閥門;
 
  3、氮?dú)?干氣的壓力控制不宜過大。建議從0.35Mpa開始緩慢增加氮?dú)馄繅毫?,直到設(shè)備控制面板上的CDA停止閃爍;
 
  4、嚴(yán)禁將過多、過重的物料放置在設(shè)備的限制范圍之外,否則會(huì)損壞設(shè)備的旋轉(zhuǎn)控制精度;
 
  5、如果使用大的吸附盤投擲小的樣品片,會(huì)發(fā)生空氣泄漏,膠水會(huì)被吸入空氣提取室,導(dǎo)致空氣路徑堵塞;
 
  6、如不慎將膠水吸入抽氣室,應(yīng)立即清洗,否則吸附盤、光電盤和電機(jī)軸會(huì)粘在一起,導(dǎo)致電機(jī)旋轉(zhuǎn),難以拆卸;
 
  7、當(dāng)氣路堵塞或氣泵損壞時(shí),電機(jī)也可以運(yùn)行,產(chǎn)生飛片。因此,在啟動(dòng)電機(jī)之前,必須確認(rèn)氣泵處于良好狀態(tài),且吸入件已被吸入;
 
  8、在實(shí)驗(yàn)過程中,當(dāng)設(shè)備處于閑置狀態(tài)時(shí),為了保護(hù)泵的工作性能,請(qǐng)關(guān)閉真空泵。建議泵的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間不應(yīng)超過1小時(shí);
 
  9、實(shí)驗(yàn)結(jié)束后,請(qǐng)將設(shè)備內(nèi)腔內(nèi)的殘留物擦拭干凈,清空廢液接收罐,用原件覆蓋,并用塑料信封覆蓋每個(gè)裝置,避免污染。
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